Прямые измерения демпфирования на анкерном креплении в МЭМС-резонаторах

Это видео было записано в 2017 году и опубликовано в 2021 году. Спонсор: Совет по датчикам IEEE (https://ieee-sensors.org/) Название: Прямые измерения анкерного демпфирования в MEMS-резонаторах Авторы: Джанна Родригес, Дастин Джеррард, Грант Глейз, Саурабх Чандоркар, Лиз Коменесия, Юньхан Чен, Иан Фладер, Томас Кенни Принадлежность: Стэнфордский университет, США Аннотация: Цель данного исследования — количественно оценить механизмы потери энергии для однозакрепленных двухсторонних камертонов (DETF), в частности, газовое демпфирование, термоупругое рассеяние (TED) и анкерное демпфирование. Мы провели измерения добротности (Q) в зависимости от давления для подтверждения отсутствия воздушного демпфирования. Мы также измерили добротность Q в широком диапазоне температур, включая диапазон, где коэффициент теплового расширения (КТР) пересекает нулевое значение, и, следовательно, эффекты термоупругой диссипации (ТЭД) становятся пренебрежимо малыми. Это дает первую возможность напрямую количественно оценить потери энергии из-за демпфирования анкера и позволяет нам изменять конфигурацию крепления для изучения влияния крепления на потери. Конференции IEEE Sensors (https://ieee-sensors.org/conferences/) Журнал IEEE Sensors (https://ieee-sensors.org/sensors-journal/) Письма IEEE Sensors (https://ieee-sensors.org/sensors-letters/) Журнал IEEE Internet of Things (https://ieee-iotj.org/) Труды конференции IEEE SENSORS (https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/1000662/all-proceedings)